Piezotisch für schnelle Fokussierung und Autofokus-Anwendungen

Jan 05, 2024

Die Produktreihe der Linsenpositionierer von PI, die zum Scannen und Positionieren von Objektiven mit Sub-nm-Auflösung bei hoher Bandbreite entwickelt wurden, wird um eine neue Generation von Piezo-Z-Fokus-Tischen erweitert – die Produktfamilie der Piezo-Biegetische P-725 PIFOC. Erhältlich in 3 Verfahrbereichen von 100 µm, 400 µm und einem branchenführenden 800 µm, wird eine leistungsstarke, schnelle Fokussierung mit Nanometer-Präzision für Anwendungen wie hochauflösende Mikroskopie, Wafer-Messtechnik und Lasermaterialbearbeitung erreicht. Die P-725-Tische der nächsten Generation bieten nicht nur eine höhere Leistung, sondern sind auch einfacher zu installieren, kompakter und ermöglichen die Verwendung mehrerer Einheiten in einem Mikroskoprevolver.

Ausgestattet mit direkt messenden Sensoren für höchste Linearität und Stabilität sorgt der reibungsfreie Piezoantrieb für schnelle Reaktion, hohe Steifigkeit und eine schnelle Einschwingzeit von wenigen Millisekunden. Das computeroptimierte spielfreie Biegeführungssystem verbessert die Wiederholgenauigkeit und Fokussierungsstabilität.

Piezoflex-geführte Fokussiertische im Vergleich zu Schwingspulen – gekreuzte rollengeführte Fokussiertische

PI bietet beide Lösungen an, sie adressieren ähnliche und teilweise unterschiedliche Anforderungen. Piezoflexgelenkte Fokussiertische sind kompakter, bieten eine bessere Geradheit und Ebenheit und verringern Winkelfehler, die allgemein als Führungspräzision bezeichnet werden. Flexure-Führungen sind zudem reibungs- und verschleißfrei. Allerdings sind die Bewegungsbereiche begrenzt. Für größere Verfahrwege sind schwingspulenbetriebene Tische mit Kreuzrollenlagern eine Option, wie zum Beispiel der Fokussiertisch V-308 von PI mit 7 mm vertikalem Hub und einem vom Benutzer einstellbaren Gegengewicht. Eine weitere Option für längere Verfahrwege mit reibungsfreiem, verschleißfreiem und hochpräzisem Führungssystem ist der kürzlich eingeführte luftgelagerte Schlitten A-142 mit kleinem Schwingspulenmotor.

Digitaler Controller mit schnellem Fokus und Standbild sowie automatischen Scans

Zusammen mit den Fokussierstufen wurde der neue kompakte digitale Piezo-Servocontroller/Treiber E-709 entwickelt, der eine Abtastrate von 20 kHz bietet, doppelt so viel Leistung wie sein Vorgänger und eine mehrfache Auflösung. Erweiterte Funktionen wie Linearisierung 4. Ordnung für verbesserte Bildqualität, Hochgeschwindigkeitsverfolgung und die einzigartige Fast Focus & Freeze-Funktion von PI, bei der das Gerät stoßfrei von einem externen (Fokus-)Sensor auf den im Fokustisch integrierten Positionssensor umgeschaltet werden kann, was eine präzise Darstellung ermöglicht Kalibrierte, stabile Bewegungen in Bezug auf die Brennebene. Im Lieferumfang ist ein umfassendes Softwarepaket enthalten: Treiber für LabVIEW, dynamische Bibliotheken für Windows und Linux, MATLAB, MetaMorph, µManager usw. Zu den Schnittstellen gehören USB, SPI, RS-232 und analog. Zu den unterstützten Funktionen gehören Wellengenerator, Datenrekorder, automatische Nullstellung und Trigger-I/O.

Weitere Informationen: www.physikinstrumente.com

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